實習包括電子束實驗的學習與研討
1.掃描式電子束顯微鏡的訓練:
利用掃描式電子束來觀察表面微結構，包括電子的加速電壓由500V到30KV的應用。
2.電子束微影系統的訓練:
利用電子束微影系統製作奈米結構，包括電子束加速電壓50KV及100KV兩類。
3.聚焦離子束(雙束)系統的訓練:
利用聚焦離子束(雙束)進行蝕刻及同時利用電子束進行觀察，另外包括沉積及低溫冷凍切片及穿透式電子束
顯微鏡試片的製作。
4.研討電子束微影技術在各種不同基板的製作上之參數及後續製程之問題。
5.研討電子束技術在各種不同領域的應用，包括電子、光電、生醫機電及奈米機電等領域。
6.針對選修學生在原指導教授指導下研究專題之討論。
7.專題講演:針對特殊題目，講授相關知識內容或請國際知名學者蒞臨指導及講演。